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O: Oberflächenphysik
O 10: Rastersondentechniken (I)
O 10.7: Talk
Monday, March 27, 2000, 17:45–18:00, H44
Nahfeldoptische Messungen mit mikrostrukturierten Apertursonden — •Matthias Wellhöfer1, N. Kerwien2, E. Oesterschulze3, R. Kassing3, T. Leinhos3, A. Vollkopf3, O. Marti2 und O. Hollricher2,1 — 1WITec GmbH, Hörvelsinger Weg 6, 89081 Ulm — 2Universität Ulm, Experimentelle Physik, Albert-Einstein-Allee 11, 89081 Ulm — 3Universität Kassel, Technische Physik, Heinrich Plett Str. 40, 34109 Kassel
Bedampfte Glasfaserspitzen sind die am häufigsten verwendeten Sonden in der Nahfeldmikroskopie. Bekannte Nachteile sind die schwierige, schlecht reproduzierbare Herstellung (Einzelfertigung) und die geringe Transmission. Bei Messungen mit diesen Sonden treten weitere Schwierigkeiten auf. Da die Glasfasern sehr steif in vertikaler Richtung und damit sehr bruchempfindlich sind, muß meist sehr langsam gemessen werden.
Mikrostrukturierte Apertursonden lassen sich dagegen in großen Stückzahlen herstellen und zeichnen sich durch ihre reproduzierbaren Kenngrößen und hohe mechanische Festigkeit, insbesondere gegenüber Stößen in vertikaler Richtung, aus. Durch das Cantileverdesign läßt sich das beim AFM weit verbreitete Lichtzeigerprinzip zur Abstandsregelung verwenden.
Wir zeigen Messungen mit mikrostrukturierten Nahfeldsonden mit unserem neuartigen α-SNOM. Der Aufbau kombiniert ein (konfokales) Auflichtmikroskop mit einem SNOM-Kopf in Form und Größe eines Mikroskopobjektivs. Damit erreichen wir eine optische Auflösung von bis zu 40 nm bei einer Anregungswellenlänge von 532 nm (λ/13). Typische Scangeschwindigkeiten betragen dabei 1 s/Zeile.