Regensburg 2000 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.142: Poster

Monday, March 27, 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Elementspezifische ortsaufgelöste Oberflächenanalysen durch Laser-Ionisation — •S. Walz, H. Helm und U. Müller — FMF und Fakultät für Physik, Univ. Freiburg

In unserer Arbeitsgruppe wurde ein Gerät zur Oberflächenanalyse fester Proben entwickelt, bei dem neutrale Bestandteile durch Laser-Ionisation massenspektroskopisch nachgewiesen werden (L-SNMS). Mit Hilfe dieses Gerätes wurden bereits dreidimensional aufgelöste Elementverteilungen in Materialproben gemessen [1,2].

Die Proben werden mit einem Ga-Ionenstrahl bestrahlt. Der überwiegende Teil des vom Primärionenstrahl abgetragenen Materials ist neutral [3] und wird mit einem ArF Excimer Laser (193nm) ionisiert. Dadurch entstehen atomare und molekulare Ionen, die mit einem Flugzeitmassenspektrometer nachgewiesen werden. Zur Messung der lateralen Elementverteilung wird der Ga- Strahl feinfokussiert über die Probe gerastert. Die Tiefeninformation erhält man durch sequentielles gezieltes Abtragen von Material. Bei Materialproben mit stark strukturierter chemischer Zusammensetzung erfolgt die Eichung der Tiefenskala mit einem externen Profiler. Gegenwärtig werden Halbleiter-, Keramik- und Polymerproben für verschiedene Institute untersucht.

[1] U. Müller, M. Schittenhelm, R. Schmittgens and H. Helm, Surf. Interf. Anal. 27,904(1999)

[2] frhewww.physik.uni-freiburg.de/salimov.html

[3] M.J. Dyer, L.E. Jusinski, H. Helm, and C. H. Becker, Appl. Surf. Sci. 52, 151 (1991)