Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.57: Poster

Montag, 27. März 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Anwendung der Methode der finiten Elemente auf die Theorie der Spannungs- und Magnetostriktionsmessung dünner Schichten — •K. Dahmen, S. Lehwald und H. Ibach — Institut für Grenzflächen und Vakuumphysik, Forschungszentrum Jülich, 52428 Jülich

Die Änderung der Oberflächenspannung an einer Oberfläche einer dünnen (kristallinen) Platte kann durch die Biegung der Platte bestimmt werden. Ebenso erzeugt eine dünne magnetostriktive Schicht auf einer Oberfläche bei Anlegen eines äußeren magnetischen Feldes mechanische Spannungen, die zu einer Biegung der Substratplatte führen. Zur Bestimmung der gesuchten Größen aus der Biegung von Platten stehen analytische Gleichungen aus der Elastizitätstheorie zur Verfügung, die jedoch die Einspannungen in einem realen Experiment nicht berücksichtigen. Daher wurde für einfache Geometrien die Biegung von Platten mit der Methode der finiten Elemente berechnet. Es wird gezeigt, daß die gefundenen Abweichungen von den analytischen Gleichungen sowohl für Oberflächenspannungsmessungen, als auch für

Magnetostriktionsmessungen gelten.