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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.77: Poster

Monday, March 27, 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Pyrolytische Abscheidung von Kohlenstoffschichten: Rasterkraftmikroskopische Untersuchung der Schichtmorphologie — •A. Pfrang, I. Yalman und Th. Schimmel — Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), D-76128 Karlsruhe

Pyrolytisch mittels CVD (Chemical Vapour Deposition) abgeschiedener Kohlenstoff wurde mit Rasterkraftmikroskopie, Kraftmodulationsmikroskopie (FMM) und Reibungsmikroskopie (LFM) untersucht. Bei der Abscheidung wurden sowohl die Verweilzeit des Gases im Reaktor und die Abscheidedauer als auch das Substrat (Sigradur, Silizium und pyrolytisches Bornitrid) variiert. Die Oberflächenstruktur der beschichteten Proben wurde auch in Abhängigkeit vom Ort im Reaktor untersucht. Aufgrund der sich ändernden Temperatur und Zusammensetzung des Gasgemisches nimmt die Schichtdicke mit dem Abstand vom Gaseinlass zu. Bei allen entstandenen Schichten wurde eine granulare Struktur beobachtet. Der typische Inseldurchmesser lag zwischen 40 und 250 nm, die Inselhöhe zwischen 6 und 20 nm, wobei die Inselgröße mit längerer Verweilzeit zunahm. Der in LFM und FMM zwischen verschiedenen Inseln desselben Probenbereichs auftretende Kontrast weist auf Inhomogenitäten der Probenoberfläche hin.