Regensburg 2000 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.82: Poster

Monday, March 27, 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Piezoelektrischer Trägheitsantrieb für die Grobpositionierung im nm-Bereich — •S. Hembacher, H. Bielefeldt, F.J. Giessibl, U. Mair und J. Mannhart — Experimentalphysik VI, EKM Institut für Physik, Universität Augsburg, D-86135 Augsburg

Die Grobpositionierung ist ein wesentlicher Bestandteil eines jeden Rastersondenmikroskops. Wesentlich ist vor allem die Reproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit der einzelnen Schrittweiten bei

der Annäherung zwischen Sonde und Probe.
Vorgestellt wird ein piezoelektrischer Trägheitsantrieb, der sogenannte

Rückstoßantrieb, welcher beide Anforderungen erfüllt. Die kleinsten mit diesem Antrieb realisierten Schrittweiten betragen ca. 40 nm. Im Hochvakuum und unter Normalbedingungen ist ein Betrieb sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung möglich.
Mit Hilfe eines piezoresistiven Cantilevers in einer Wheatstone’schen Messbrücke können einzelne Schritte direkt detektiert werden. Die gemessenen Schrittweiten zeigen eine gute Übereinstimmung mit einem quantitativen theoretischen Modell.
Diese Arbeit wurde vom BMBF (Projekt Nummer 13N6918/1) gefördert.