Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.86: Poster

Montag, 27. März 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Verringerung der Schwingneigung von Beetle-RTMs durch Segmentierung des z-Piezos — •N. Quaas, M. Wenderoth, K.J. Engel, T.C.G. Reusch, K. Sauthoff und R.G. Ulbrich — 4. Physikalisches Institut der Universität Göttingen, Bunsenstr. 13, 37073 Göttingen

RTMs im Beetle-Design neigen zu speziellen Resonanzschwingungen im Frequenzbereich um 1000 Hz, der sogenannten „rattle-mode“[1], die den Regelvorgang und damit die Signalstabilität beeinträchtigen. Wir haben RTMs vom doppelt-inversen Typ mit Lock-In Technik auf ihre Resonanzantwort im Frequenzbereich von 10 bis 5000 Hz untersucht und mit geringen Modifikationen deutliche Verbesserungen im Resonanzverhalten des gesamten Scansystems erzielt. Es wurde die in [1] beschriebene Methode angewandt, die auf der Nutzung der Scanpiezos als Akzellerometer beruht. Darüber hinaus liefern interferometrische Untersuchungen Aufschluß über das Resonanzverhalten in vertikaler Richtung. Hier zeigen sich Resonanzen um 2000 Hz, die wir als Eigenschwingungen des Piezoröhrchens interpretieren. Durch Segmentierung des z-Piezos und Ansteuerung nur eines der Teilsegmente erreichen wir eine Dämpfung der Piezoschwingung wie auch eine erheblich geringere Anregung der „rattle-mode“um 1000 Hz. Die zweite erprobte Modifikation, eine verstärkte Kopplung von Rampe und Scanner über Magnetkräfte, führt zwar wie erwartet zur Verlagerung der „rattle-mode“zu höheren Frequenzen, erzielt jedoch eine vergleichsweise geringe Verbesserung des Frequenzganges.

[1] S. Behler et al., Rev. Sci. Instrum. 68, 124 (1997).