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O: Oberflächenphysik
O 16: Rastersondentechniken (II)
O 16.1: Talk
Tuesday, March 28, 2000, 11:15–11:30, H44
Neue Methode zur Herstellung von Nahfeldsonden mit hoher Transmission — •Thomas Held, Stephanie Emonin, Olaf Hollricher und Othmar Marti — Abteilung Experimentelle Physik, Universität Ulm, D-89069 Ulm
Gezogene Glasfaserspitzen für die optische Nahfeldmikroskopie leiden unter geringer Transmissionsintensität aufgrund ihrer ungünstigen Geometrie [1]. Spitzen, die mittels eines Ätzprozesses hergestellt werden, weisen eine um bis zu drei Größenordnungen höhere Transmission bei gleicher Aperturgröße auf [2]. Der Nachteil dieser Spitzen liegt in ihrer rauhen Oberflächenstruktur, wodurch die Qualität der aufgewachsenen Metallschicht stark beeinträchtigt wird. Wir stellen einen neue Methode zur Modifikation geätzter Spitzen vor, bei der die Oberflächenrauhigkeit deutlich verringert wird. Gleichzeitig kann der Öffnungswinkel über einen großen Bereich variiert werden. Erste Messungen an Teststrukturen zeigen eine Auflösung deutlich unter 100 nm und ein Transmissionsverhältnis im Bereich von 10 −3.
[1] G. A. Valaskovic, M. Holton, and G. H. Morrison, Appl. Opt. 34, 1215 (1995)
[2] D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996)