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O: Oberflächenphysik

O 16: Rastersondentechniken (II)

O 16.3: Talk

Tuesday, March 28, 2000, 11:45–12:00, H44

Aufbau eines Prototyps für die Massenspeicherung basierend auf Rastersondenverfahren — •J. Isenbart, A. Born und R. Wiesendanger — Universität Hamburg, Institut für Angewandte Physik, Zentrum für Mikrostrukturforschung, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Für die Speicherung großer Datenmengen bei hohen Zugriffsraten stößt die herkömmliche Speichertechnologie an unüberwindbare Grenzen, wenn es gilt, Speicherdichten von über 180 bit/µm² und Zugriffsraten in der Größenordnung von Mbit/s zu erzielen. Lösungsperspektiven bieten hier Verfahren, die sich der Rastersondentechnologie bedienen, z.B. Rasterkapazitätsmikroskopie (SCM), Rastermagnetkraftmikroskopie (MFM) oder auch die Rasterkraftmikroskopie (AFM) selbst. Verbunden mit den genannten Zielvorgaben von Speicherdichte und Zugriffsrate sind aber hohe Anforderungen an die mechanische Stabilität des Gerätes bei der nötigen Rastergeschwindigkeit, insbesondere bezogen auf die Spurgenauigkeit der Schreib- und Lesesonde, zu stellen. Mit diesen Vorgaben wurde ein leistungsfähiges Hochgeschwindigkeitssystem entwickelt und aufgebaut, das mit verschiedenen Rastersondenmethoden kombiniert werden kann. Eine hochauflösende Steuerelektronik, verbunden mit einer Dreh- und einer Linearachse (jeweils luftgelagert) ermöglicht dabei eine mechanische R−ϕ-Grobpositionierung bis hinab zu 10nm Genauigkeit. Die Feinpositionierung wird über die Piezosteuerung des verwendeten Rastersondenmikroskops erreicht.