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O: Oberflächenphysik

O 21: Oberflächenreaktionen (II)

O 21.8: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 18:00–18:15, H44

Eine neue Methode zur Absolutquantifizierung des Flusses und der Winkelverteilung einer Quelle für atomaren Wasserstoff — •Thomas Schwarz-Selinger, Achim von Keudell und Wolfgang Jacob — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München

Eine neue Methode zur Absolutquantifizierung des Flusses und der Winkelverteilung einer UHV-kompatiblen Teilchenstrahl-Quelle für atomaren Wasserstoff wird vorgestellt. Sie basiert auf der Erosion einer amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschicht (a-C:H) bei einer Temperatur von 650 K: Durch die thermisch aktivierte chemische Erosion kommt es zum Schichtabtrag. Aus der räumlichen Variation des Schichtabtrages und der bekannten Erosionsausbeute läßt sich direkt die Winkelverteilung und der absolute Fluß des einfallenden atomaren Wasserstoffs bestimmen. Im vorliegenden Experiment wurde der atomare Wasserstoff in einer resistiv geheizten Wolfram-Kapillare erzeugt. Die Winkelverteilung dieser Quelle wurde zusätzlich zur Erosionsmethode auch mittels winkelaufgelöster Massenspektrometrie bestimmt. Es zeigt sich eine sehr gute Übereinstimmung zwischen beiden Verfahren.