Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 25: Methodisches

O 25.11: Vortrag

Mittwoch, 29. März 2000, 17:00–17:15, H45

Mikrospektroskopie und Spektromikroskopie mit PEEM unter Verwendung eines neuartigen bildgebenden Energiefilters — •M. Merkel¹, M. Escher¹, J. Settemeyer¹, A. Oelsner², O. Schmidt², Ch. Ziethen² und G. Schönhense² — ¹FOCUS GmbH, 65510 Hünstetten-Görsroth — ²Johannes Gutenberg-Universität Mainz

Die Photoelektronenmikroskopie (PEEM) ist in der Lage, lateral hochaufgelöste Bilder von Festkörperoberflächen zu liefern . Zusätzlich besteht oft der Wunsch, die Energieverteilung der zur Bilderzeugung genutzten Photoelektronen spektroskopisch auszuwerten oder energetisch schmalbandig ausgefilterte Bilder aufzunehmen, um bestimmte, z.B. materialspezifisch auftretende, Probenbereiche hervorzuheben. Außerdem ermöglicht die Energiefilterung eine Erhöhung der lateralen Auflösung,da derchromatische Abbildungsfehler reduziert werden kann. Dispersive Filter sind mit Erfolg eingesetzt worden, die Handhabung dieser komplizierten Spektromikroskope schließt jedoch eine breite Anwendung zur Zeit (noch) aus. In diesem Beitrag stellen wir ein einfacheres Verfahren vor, welches statt des dispersiven Filters einen Gegenfeldanalysator (Hochpass-Filter) einsetzt. Dieser Filter ist in die elektronenoptische Säule integriert, verändert nicht die optische Achse und bedarf daher keines zusätzlichen Justieraufwandes. Der gewünschte Bandpass wird durch Differenzbildtechnik erreicht. Der Energiefilter (IEF) wurde in Verbindung mit einem PEEM (FOCUS IS-PEEM) sowohl an einer Synchrotronstrahlungsquelle als auch im Labor mit diversen UV-Quellen erprobt. Es wurden sowohl energieselektierte Bilder als auch Spektren gemessen. Die Energieauflösung erreichte Werte zwischen 0,4eV und 0,7eV.