Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 31: Nanostrukturen
O 31.2: Vortrag
Donnerstag, 30. März 2000, 16:30–16:45, H36
Elektrochemische Mikrostrukturierung — •Viola Kirchner1, Rolf Schuster1, Philippe Allongue2 und Gerhard Ertl1 — 1Fritz–Haber–Institut der MPG, Faradayweg 4–6, 14195 Berlin — 2CNRS Paris
Durch ein elektrochemisches Verfahren mit ultrakurzen Spannungspulsen können dreidimensionale Mikrostrukturen direkt und mit hoher Präzision hergestellt werden.
Konventionelle Elektrochemie erreicht nur eine geringe räumliche Genauigkeit, weil die lokale Ätzrate von der Stromdichte im Elektrolyten bestimmt wird und linear vom Elektrodenabstand abhängt. Arbeitet man aber mit ultrakurzen Pulsen und geringen Elektrodenabständen, kann man die abstandsabhängige Ladezeit der Doppelschichtkapazitäten an den Elektroden ausnutzen.
Durch Anlegen von Spannungspulsen mit ns Dauer werden nur Elektrodenbereiche vollständig umgeladen, die einen µm kleinen Abstand voneinander haben. Elektrochemische Reaktionen sind dadurch auf diese Elektrodenbereiche beschränkt. Da die Ätzraten in diesem Verfahren exponentiell vom Elektrodenabstand abhängen, läßt sich eine Genauigkeit von unter einem µm erreichen. Metalle und Halbleiter können so bearbeitet werden.