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Regensburg 2000 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 31: Nanostrukturen

O 31.3: Talk

Thursday, March 30, 2000, 16:45–17:00, H36

Herstellung hexagonal geordneter Diamant-Nanosäulen auf Diamant(100) — •Berndt Koslowski, Stefan Strobel, Thomas Herzog, Joachim Spatz, Martin Möller und Paul Ziemann — Universität Ulm, D-89069 Ulm

Wir berichten über erste Ergebnisse zur Herstellung von regelmäßig

angeordneten Diamant-Nanosäulen auf einem ultra-glatten Diamant(100)

Substrat. Hierzu wird auf Diamant-Substrate (Rauheit <100pmrms)

durch Ziehen aus einer Polymerlösung eine einzelne

Monolage von HAuCl4-beladenen Mizellen präparieren. Dabei

ordnen sich die Mizellen entsprechend ihrem Durchmesser von ca. 80nm an.

Die Polymermatrix wird in einem Sauerstoff-Plasma verascht, wobei

gleichzeitig das Goldsalz zu metallischem Gold reduziert wird. Es

entstehen hexagonal angeordnete Au-Nanoinseln von 10nm Durchmesser,

die als Ätz-Maske genutzt werden können. Während die freie

Diamantoberfläche im O-Plasma abgetragen wird, bleiben die durch das Gold

geschützten Anteile stehen. Abschließend werden die

Au-Kappen durch Verdampfen entfernt und es bleiben hexagonal

geordnete 10-20nm hohe Diamant-Nanosäulen mit Durchmesser

10nm und einer Dichte von 1010-1011cm2 übrig.

Wir charakterisieren den Prozeß mittels AFM und RBS

und diskutieren die Grenzen dieser Lithographie-Technik.

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