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O: Oberflächenphysik

O 33: Oxide und Isolatoren (II)

O 33.11: Talk

Thursday, March 30, 2000, 18:45–19:00, H44

Oberflächenempfindliche Röntgenbeugung an ultradünnen Al₂O₃-Schichten auf NiAl(110) — •Frank Uwe Renner, Andreas Stierle, Reinhard Streitel und Helmut Dosch — Max-Planck-Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, 70569 Stuttgart

Dünne Oxidschichten spielen in vielen modernen Technologien eine wichtige Rolle. Ultradünne Al₂O₃-Schichten werden als Modellsubstrate für die Metallcluster-Abscheidung verwendet [1]. Im UHV läßt sich auf einer NiAl(110)-Oberfläche eine ca. 5Å dicke wohlgeordnete Oxidschicht präparieren, die eine langreichweitige, inkommensurable Überstruktur zeigt. Eine solche Schicht haben wir präpariert und anschließend oberflächenempfindliche Röntgenbeugungsmessungen am Strahlrohr BW2 des Hamburger Synchrotronstrahlungslabors (HASYLAB) durchgeführt.

Die sehr scharfen in-plane Reflexe der Oxid-Überstruktur wurden in einem weiten Bereich des reziproken Raumes gemessen. Durch die Inkommensurabilität der Oxid-Überstruktur ergibt sich eine Modulation der NiAl-crystal truncation rods (CTR) nur durch die Grenzfläche, deren Struktur hierdurch zugänglich wird. Darüber hinaus wurde die Reflektivität bis zum ersten NiAl(110)-Braggreflex gemessen und hieraus die Oxidschichtdicke bestimmt.

[1] M. Bäumer, H.-J. Freund, Prog. Surf. Sci. 61, 127 (1999)