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Regensburg 2000 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 33: Oxide und Isolatoren (II)

O 33.6: Talk

Thursday, March 30, 2000, 17:30–17:45, H44

Oxidation von CoGa untersucht mit oberflächensensitiver Röntgenstreuung — •Reinhard Streitel1, A. Stierle1, F. U. Renner1, H. Dosch1 und R. Franchy21Max-Planck Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, 70569 Stuttgart — 2Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik Jülich, D-52425 Jülich

Die Oxidation von Legierungsoberflächen ist für verschiedene

technologische Anwendungen wie z.B. katalytische Prozesse und

mikroelektronische Sensoren von großem Interesse.

Mittels oberflächensensitiver Röntgenstreuung wurde das Wachstum

von Galliumoxid auf reinen CoGa(100) Oberflächen zeitaufgelöst und

temperaturabhängig untersucht. Die Messungen wurden am European

Synchrotron Radiation Facility am Strahlrohr (ESRF) ID32 durchgeführt.

Die Struktur der 4x2 rekonstruierten sauberen Oberfläche wurde bestimmt

und mit Ergebnissen aus LEED und STM Messungen verglichen.

Die Oxidation bei geringen Sauerstoffpartialdrücken von

3·10−8 hPa und Temperaturen von Raumtemperatur bis 800K

zeigen das Wachstum von Oxid-Inseln, welche zunehmend die

Oberfläche bedecken. Im weiteren Verlauf kommt es zur Bildung

einer geschlossenen, geordneten Oxidschicht. Das Verhalten des

Oxidwachstums wurde bei verschiedenen Temperaturen untersucht,

um Aussagen über die Kinetik des Oxidationsprozesses zu

ermöglichen.

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