Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 9: Adsorption an Oberflächen (II)

O 9.6: Vortrag

Montag, 27. März 2000, 17:30–17:45, H37

Untersuchungen der Oberflächenprozesse unter den Bedingungen der Diamant-Niederdrucksynthese mittels Summenfrequenzgeneration (SFG). — •Arndt C. Heerwagen, Martin T. Strobel, Michael Himmelhaus und Manfred Buck — Lehrstuhl für Angewandte Physikalische Chemie, INF 253, Universität Heidelberg, 69120 Heidelberg

Unter geeigneten Bedingungen lassen sich polykristalline Diamantfilme aus einer aktivierten Gasphase aus Wasserstoff und Methan auf Silizium-Substraten abscheiden. Während zur Zusammensetzung der Gasphase detaillierte Untersuchungen vorliegen, sind die Adsorptionsvorgänge und die daraus resultierenden mechanistischen Vorgänge des Diamantwachstums an der Substratoberfläche noch weitgehend unverstanden. Die Summenfrequenzerzeugung (SFG) stellt nun eine Möglichkeit dar, die Wechselwirkungen der reagierenden Spezies mit der Substratoberfläche in situ zu beobachten. Wir berichten über unsere Untersuchungen des Oberflächenverhaltens von Wasserstoff/Methan-Gemischen unter Deponierungsbedingungen. Interessanterweise zeigt sich dabei ein Signal, welches von oberflächennahem, undissoziiertem Methan herrührt.