Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 22: Postersitzung III: Supraleitende Anwendungen (1-4) Massive HTSL, Bandleiter, Filme (5-26), Transport in HTSL (27-30), Elektronenstruktur in Supraleitern (31-43), Borkarbide (44-50), Quantenphasen- und Metall-Isolator-Überg
änge (51-69)

TT 22.17: Poster

Donnerstag, 30. März 2000, 14:00–17:30, A

Herstellung hochqualitativer YBa₂Cu₃O_7−x-Dünnschichten mittels PLD mit Probenstrahlungsheizung und in-situ pyrometrischer Temperaturmessung — •Michael Wall¹, Martin Bednarzik², Frank Ludwig³ und Thomas Schurig³ — ¹Fachhochschule für Technik und Wirtschaft Berlin — ²Technische Fachhochschule Berlin — ³Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Fachlaboratorium 7.13 Kryosensorik

Für die Herstellung hochwertiger YBa₂Cu₃O_7−x(YBCO)-Dünnfilme und Mehrlagen zur Fabrikation von SQUID-Bauelementen wurde eine Laserdepositionsanlage aufgebaut. Dabei wird die Temperatur des über Wärmestrahlung geheizten Substrates während der Deposition mit einem im Bereich von (8-14) µm empfindlichen Pyrometer gemessen und als Regelgrösse für den Temperaturregler verwendet. Es wurden umfangreiche Berechnungen des Emissionskoeffizienten für das System SrTiO₃-Substrat/YBCO-Dünnfilm durchgeführt. Es zeigt sich, dass sich der mittlere Emissionskoeffizient bei dem in der Anlage realisierten Einfallswinkel von 15^∘, für YBCO-Schichtdicken bis zu 175 nm und Probentemperaturen von (750-950) ^∘C um weniger als 1 % verändert. Die Optimierung des Depositionsprozesses erlaubt die

reproduzierbare Herstellung von YBCO-Dünnfilmen auf SrTiO₃-Substraten mit T_c ≈ 89 K, j_c(77 K) ≥ 3 x 10⁶Acm⁻² und Oberflächenrauhigkeiten unter 10 nm.
Gefördert vom BMBF unter Vorhaben Nr. 13N7326.