Regensburg 2000 – scientific programme
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 22: Postersitzung III: Supraleitende Anwendungen (1-4) Massive HTSL, Bandleiter, Filme (5-26), Transport in HTSL (27-30), Elektronenstruktur in Supraleitern (31-43), Borkarbide (44-50), Quantenphasen- und Metall-Isolator-Überg
änge (51-69)
TT 22.2: Poster
Thursday, March 30, 2000, 14:00–17:30, A
Beiträge zur Dünnschichttechnologie für hybride HTSL-Hall-Magnetfeldsensoren auf Siliziumsubstraten — •Frank Schmidt — Institut für Festkörperphysik der Friedrich-Schiller-Universität Jena, Helmholtzweg 5, 07743 Jena
Es wird die Entwicklung eines neuartigen, gekühlten Magnetfeldsensors für den Einsatz in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung verfolgt. Der hybride Sensor besteht aus einen Dünnschicht-Hallelement und einer supraleitenden Antennenstruktur. Ziel der Arbeit ist es nun, dieses Schichtsystem auf Si- Substrate zu adaptieren. Dabei können wir auf bestehende Technologien zur Herstellung von HTSL-Josephsonkontakten und SQUIDs, die auf dem epitaktischen Wachstum von YSZ/CeO 2 -Pufferschichten sowie YBCO basieren, zurückgreifen. Für die Realisierung der Hallsensoren werden unterschiedliche Depositionsverfahren genutzt. Messungen des Hallkoeffizienten von Raumtemperatur bis 77K werden für verschiedene Hallmaterialien vorgestellt und in Relation bezüglich ihrer Einsatzfähigkeit in diesen hybriden Sensoren diskutiert.
Diese Arbeit wird durch das BMBF unter Projekt-Nr. 13 N 6808 A gefördert