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TT: Tiefe Temperaturen

TT 25: HF-Anwendungen

TT 25.4: Vortrag

Freitag, 31. März 2000, 11:45–12:00, H19

Ortauflösende Messung des Oberflächenwiderstandes von großflächigen HTSL–Schichten — •Klaus Irgmaier, Robert Semerad, Kai Numssen und Helmut Kinder — Technische Universität München, Physik–Department, James–Franck–Straße 1, D–85748 Garching

Ortsauflösende Messungen des Mikrowellenoberflächenwiderstandes von Hochtemperatursupraleitern (HTSL) stellen eine wichtige Charakterisierungsmethode zur Bestimmung der Hochfrequenzeigenschaften von dünnen Schichten für Mikrowellenanwendungen in der HF–Technik dar. Wir stellen die Entwicklung eines Systems vor, mit dessen Hilfe der Oberflächenwiderstand von großflächigen HTSL–Schichten ortsaufgelöst gemessen werden kann. Um hohe Meßfrequenzen zu vermeiden, arbeitet der Scanner mit einem dielektrischen Kristall, der basierend auf dem Prinzip eines dielektrischen Parallelplatten-Resonators, über die Oberfläche der zu untersuchenden Probe bewegt wird. Der Prototyp arbeitet bei einer Temperatur von 77 K, einer Frequenz von 19 GHz und besitzt eine Ortsauflösung von 7 mm. Messungen an HTSL–Schichten auf unterschiedlichen Substraten (2 bis 4 Zoll) werden beschrieben.