Regensburg 2000 – scientific programme

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 25: HF-Anwendungen

TT 25.6: Talk

Friday, March 31, 2000, 12:15–12:30, H19

Gesputterte SrTiO₃-Dünnschichten für die Anwendung in Mikrowellenbauelementen — •M. Adam, D. Fuchs und R. Schneider — Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Festkörperphysik, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe

Die relative Dielektrizitätskonstante ε_r von SrTiO₃ (STO) lässt sich durch das Anlegen eines elektrischen Feldes variieren. Dieses Verhalten kann für die Realisierung von elektronischen Bauelementen wie z. B. durchstimmbare Mikrowellenfilter genutzt werden. Hierzu wurden die dielektrischen Eigenschaften von STO-Schichten in Abhängigkeit von Temperatur und elektrischer Feldstärke im Frequenzbereich zwischen 100 Hz und 100 kHz an Schichtkondensatoren sowie von 50 MHz bis 18 GHz an koplanaren Phasenschiebern und Resonatoren untersucht. Die notwendigen Schichtfolgen aus STO, YBa₂Cu₃O_7−δ und Gold wurden in situ durch Kathodenzerstäubung mit einem invertierten Zylindermagnetron auf LaAlO₃-Substrate aufgebracht.