Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 7: Postersitzung I: Amorphe- und Tunnelsysteme (1-8), Mesoskopische Systeme (9-21), Schwere Fermionen (22-32), Kernmagnetismus (33-34), Josephson-Kontakte und SQUIDs (35-45), TT-Detektoren und Kryotechnik (46-49)
TT 7.13: Poster
Montag, 27. März 2000, 14:30–18:00, A
Herstellung magnetischer Tunnelkontakte im sub-µm Bereich — •J. Schuler, T. Kemen, T. Bauch, F. Herbstritt, A. Marx und R. Gross — Universität zu Köln, Lehrstuhl für Angewandte Physik, Zülpicher Str. 77, 50937 Köln
Wir entwickeln einen Prozeß zur Herstellung ferromagnetischer Tunnelkontakte mit Al2O3-Barrieren. Ziel dieser Entwicklung ist es, Doppeltunnelkontakt-Strukturen (SET-Strukturen) herzustellen, deren Elektroden und deren Insel wahlweise aus ferromagnetischen Metallen, Normalleitern oder Supraleitern bestehen können. Hiermit soll das Zusammenspiel von tunnelmagnetoresistiven und Einzelladungseffekten mit Normal- und Supraleitern untersucht werden.
Die Arbeiten im Rahmen dieses Projekts konzentrieren sich hierbei sowohl auf das verwendete Lacksystem, wie auch auf Arbeiten zu den verwendeten Materialien. Im Vordergund steht zunächst die Herstellung von Tunnelkontakten mit Al2O3-Barrieren mit den erforderlichen Tunnelwiderständen ohne Kurzschlüsse.
Die Arbeiten zur Optimierung des Lacksystems zielen auf eine Reduzierung der minimal erreichbaren Strukturbreite im Rahmen unseres Schattenbedampfungsprozesses ab. Um eine Kontamination der aufgedampften Schicht durch die Lacke bzw. eine Schädigung der Lackstrukturen beim Aufdampfen zu vermeiden, können die Substrate beim Aufdampfen auf etwa 80 K gekühlt werden.