Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 8: Josephson-Kontakte und SQUIDs II
TT 8.4: Vortrag
Dienstag, 28. März 2000, 10:45–11:00, H20
Neues Herstellungsverfahren für Stufenkontakte für HTSL-SQUID-Anwendungen — •Jürgen Schubert1, Yi Zhang1, Meinhard Schilling2 und Mehdi Fardmanseh1 — 1Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich — 2Universität Hamburg, Jungiusstr.11, 20355 Hamburg
Der Stufenkontakt dient seit langem als Grundlage für HTSL- Bauelemente speziell für SQUIDs. Die reproduzierbare Herstellung der Stufen bezüglich Steilheit und Sauberkeit der Kante war bislang nicht gelöst. Speziell die Ausbeute an rauscharmen SQUIDs wurde zum Beispiel durch redeponiertes Material, das sich während der Stufenherstellung an der Stufe ablagert, drastisch reduziert. Wir präsentieren ein neues Verfahren zur Herstellung solcher Stufen. SQUIDs, bei deren Herstellung diese Stufen verwendet werden, zeigen eine wesentlich bessere Ausbeute an rauscharmen SQUIDs als solche, die nach den alten Verfahren hergestellt wurden. Die Stufen- parameter wurden so eingestellt, daß die Arbeitstemperatur der SQUIDs bei 77K liegt und somit einen Einsatz in Verbindung mit Kleinkühlern oder flüssigem Stickstoff ermöglicht. Diese Arbeit wurde durch das BMBF im Rahmen des Projektes SQUID 2000 gefördert.