Regensburg 2000 – scientific programme

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 8: Josephson-Kontakte und SQUIDs II

TT 8.6: Talk

Tuesday, March 28, 2000, 11:15–11:30, H20

SQUID-Photoscanning: Ein bildgebendes Verfahren zur nichtinvasiven und hochauflösenden Analytik von Halbleiterwafern und Halbleiterbauelementen — •Jörn Beyer¹, Thomas Schurig¹, Anke Lüdge² und Helge Riemann² — ¹PTB Berlin Abbestr.2-12 10587 Berlin — ²IKZ Berlin Rudower Chaussee 6 12489 Berlin

Das SQUID-Photoscanning Messverfahren basiert auf der berührungslosen Detektion der magnetischen Felder fotoinduzierter Ströme in Halbleiterwafern und Halbleiterbauelementen mit hochempfindlichen SQUID-Magnetometern. Die Messung der magnetischen Felder der durch fokusierte Laserstrahlung lokal angeregten Fotoströme erlaubt dabei eine Analyse und Visualisierung von Halbleitermaterialeigenschaften (Dotierung, Kontaminationen) und -strukturen mit hoher räumlicher Auflösung. Es werden Ergebnisse von Untersuchungen an Siliziumwafern bezueglich der Homogenitaet der Grunddotierung, Dotierungsstrukturen und prozessbedingter Kontaminationen präsentiert und im Vergleich mit konventionellen Messmethoden diskutiert. Physikalische Modelle und numerische Simulationen der Entstehung der magnetischen Signale werden vorgestellt. Desweiteren wird über SQUID-Photoscanning-Untersuchungen zur Lokalisierung von Artefakten an photovoltaischen Bauelementen berichtet.

Gefördert durch BMBF unter Vorhabensnummer 13N7501.