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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: Flachbildschirme

VA 1.3: Invited Talk

Monday, March 27, 2000, 11:20–12:00, H\"orsaal 47

Anorganische Farbelektrolumineszenz auf der Basis von SrS-Dünnfilmen — •Bernd Hüttl, Stephanie Schlüter, Ute Troppenz und Karl-Otto Velthaus — Heinrich-Hertz-Institut Berlin, Einsteinufer 37, 10587 Berlin

Die anorganische Hochfeld-Dünnfilmelektrolumineszenz gewann mit der Einführung der strukturierten Dünnfilm-MISIM-Anordnung (metal-insulator-semiconductor-insulator-metal) eine breite Aufmerksamkeit in Physik und Technologie, mit dem Potential, flache und selbstemissive Displays einfach herzustellen. Das Material ZnS:Mn war die Grundlage für erste kommerzielle monochrome (gelb emittierende) Displays, welche in den achtziger Jahren auf den Markt gebracht wurden. Die Entwicklung von Dünnfilm-Depositionstechnologien für die Erdalkalisulfide, dotiert mit Seltenen Erden und Übergangsmetallen, eröffnete in den letzten Jahren die Möglichkeit, sämtliche Farben des sichtbaren Bereichs darzustellen und bereitete die Basis, vollfarbige Displays zu produzieren.

Im Vortrag wird vor allem über die Entwicklungsarbeiten an blau-grün emittierenden SrS:Ce,Ag- und blau-emittierenden SrS:Cu,Ag-Dünnfilmen berichtet und über den Status der damit am Heinrich-Hertz-Institut hergestellten vollfarbigen Displaydemonstratoren. Darüber hinaus wird die Physik der Elektrolumineszenz in Erdalkalisulfiden ausführlich diskutiert.

Im weiteren wird der Beitrag eine Darstellung des internationalen Stands von Entwicklungen auf dem Gebiet der vollfarbigen anorganischen Elektrolumineszenz bieten. Es wird über neue Produkte und Applikationen berichtet.

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