Regensburg 2000 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung

VA 2.1: Invited Talk

Monday, March 27, 2000, 15:00–15:40, H\"orsaal 47

Entwicklung neuer Vakuummessgeräte durch Mikrosystemtechnik — •Friedemann Völklein — FH Wiesbaden, FB Physikalische Technik, Am Brueckweg 26, 65428 Ruesselsheim

Mikrosysteme (MicroElectroMechanical Systems, MEMS) stellen eine Verknüpfung von mikroelektronischen, mikromechanischen, mikroop-tischen oder mikrofluidischen Komponenten zu einem Gesamtsystem dar, mit dem z. T. völlig neue Anwendungsfelder erschlossen werden können. Typische Beispiele sind Systeme aus Mikrosensoren, mikroelektronischer Informationsverarbeitung und Mikroaktoren. Es werden Basistechnologien für die Realisierung von Mikrosystemen dargestellt, insbesondere Verfahren der dreidimensionalen Mikrostrukturierung von Silizium durch anisotrope nasschemische und plasmaunterstützte Ätztechniken sowie additive Verfahren (LIGA-Technik, Surface Micromachining). Ausgehend von diesen Technologien werden auch neue Bauelemente für vakuumtechnische Anwendungen entwickelt. Als Beispiele werden vorgestellt:

- Vakuum-Mikrosensoren für das Grob- und Feinvakuum

- Mikromechanische Membranen fuer Permeationsprozesse

- Mikroreaktoren zur Gastrennung

- Feldemitter-Arrays für Ionisationsvakuummeter

- Mikrosensoren zur in situ Charakterisierung bei Vakuum-Beschichtungsprozessen.