Regensburg 2000 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung

VA 2.3: Talk

Monday, March 27, 2000, 16:00–16:20, H\"orsaal 47

Langzeitstabilität von Vakuummessgeräten — •Georg Rupschus und Karl Jousten — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin

Bei den meisten Vakuummessgeräten ist die Langzeitinstabilität der dominierende Anteil bei den Messunsicherheiten. Auch für einen bestimmten Gerätetyp kann es bei individuellen Geräten erhebliche Unterschiede geben. Ebenso ist die Stabilität vom Einsatz abhängig. Das Laboratorium für Vakuummetrologie der Physikalisch-Technischen Bundeanstalt kalibriert regelmässig wiederkehrende Geräte aus Kalibrierlaboratorien des Deutschen Kalibrierdienstes, der Halbleiterindustrie und anderen Nationalen Metrologieinstituten und besitzt daher eine Datenbasis über die Langzeitinstabilitäten einiger Gerätetypen. Es werden Bandbreite und Mittelwerte der Langzeitinstabilitäten von Membranvakuummetern, Gasreibungsvakuummeteren und Ionisationsvakuummetern mitgeteilt.