Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuumtechnik

VA 3.2: Vortrag

Montag, 27. März 2000, 17:40–18:00, H\"orsaal 47

Vakuumtechnische Berechnung von Turbomolekularpumpen mit Hilfe der Theorie von Gaede — •Peter Fahrenbach, Karl-Heinz Bernhardt und Armin Conrad — Pfeiffer Vacuum AG, D-35614 Asslar

Das klassische Arbeitsgebiet von Turbomolekularpumpen in einem Druckbereich molekularer Strömung hat sich in den letzten Jahren durch den Einsatz in der Prozesstechnik gewandelt. Vermehrt werden vor allem die größeren Pumpentypen in dem Übergangsbereich von molekularer zur laminarer Strömung betrieben. Die Berechnung der vakuumtechnischen Kennwerte einer Turbomolekularpumpe wie Saugvermögen und Kompression ist für diesen Strömungsbereich durch Interpretation der von Gaede am Anfang des zwanzigsten Jahrhunderts hergeleiteten Formeln zur Molekularluftpumpe möglich.