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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Beschichtungstechnik

VA 4.1: Hauptvortrag

Dienstag, 28. März 2000, 10:00–10:40, H\"orsaal 47

Vakuumgestützte Zukunftstechnologien in der Optik — •Norbert Kaiser — Fraunhofer Institut Angewandte Optik und Feinmechanik, Schillerstr. 1, 07745 Jena

Mit dünnen Schichten können die optischen Eigenschaften einer Oberfläche eingestellt werden. Es gibt heute praktisch kaum noch ein Produkt der optischen Industrie, das ohne sie auskommt. Heute werden etwa 48% aller optischen Beschichtungen für Entspiegelungen und 32% für Verspiegelungen eingesetzt. Zu den restlichen 20% gehören Strahlteiler und verschiedene Filter. Wesentliche Fortschritte wurden in den letzten Jahren im Bereich der Dünnschichttechnologien gemacht. Moderne Hochvakuum - Beschichtungsanlagen mit präzisen Prozeßmonitoren arbeiten nach Einprogrammierung des Schichtsystems vollautomatisch. Ein Beispiel sind Superspiegel für Neutronenstrahlung aus 1600 Schichten, die in nur 10 Stunden herstellbar sind. Im Bereich der Niedertemperaturbeschichtung wurde der Durchbruch mit der Einführung neuer Ionenquellen erzielt. Die Schichten haften besser auf dem Substrat, sind glatter, dichter, weniger verspannt und auch billiger. Vor allem können jetzt temperaturempfindliche Materialien direkt beschichtet werden. Das hat ganz erhebliche Konsequenzen für den Einsatz von Kunststoff-Präzisionsoptiken und Brillengläsern, die multifunktional (optisch und mechanisch) beschichtet sein müssen.

Die zukünftige Herstellung dünner Schichten für die Optik erfordert Vakuumverfahren, die besser als bisher charakterisiert und eingestellt werden können. Defizite werden vor allem in den Bereichen Total- und Partialdruckmessung, Restgasanalyse, Vakuum in Plasmasystemen und Kontaminationskontrolle gesehen. Es besteht die Gefahr, dass das grundlegende Verständnis der Vakuumprozesse durch eine Überbetonung der vollautomatsiche Prozeßsteuerung nicht mehr für wichtig gehalten wird.