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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Beschichtungstechnik

VA 4.2: Talk

Tuesday, March 28, 2000, 10:40–11:00, H\"orsaal 47

Quadrupol- Massenspektrometer in der Beschichtungstechnologie — •Günter Peter und Norbert Müller — Balzers Instruments, P.O. Box 1000, Fl-9496 Balzers Liechtenstein

Quadrupol-Massenspektrometer werden in den meisten Beschichtungsanlagen bereits routinemässig als Restgasanalysatoren eingesetzt. Daneben findet man diese Massenspektrometer in vielen Analysensystemen als funktionale Einheiten. Im einzelnen sind hier GCMS, SIMS, Thermoanalyse-MS, Leckdetektoren aller Art, Oberflächendesorption und Spurenanalytik zu nennen. Weiterhin lassen sich mit diesen Massenspektrometern eigenständige Geräte realisieren, die als virtuose Sensoren eingesetzt werden können. Hier sind vor allem Quadrupol-Massenspektrometer als Endpunktsdetektoren bei Ion-Milling Applikationen, Geräte zur materialspezifischen Messung von Aufdampfraten und eine Kombination von Energie- und Massenfilter als Plasma- Monitor zu nennen. Der prinzipielle Aufbau von Endpunktsdetektoren, eines Rate-Monitors und eines Plasma-Monitors wird zusammen mit ausgewählten Applikationen diskutiert.