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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Beschichtungstechnik

VA 4.3: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 11:00–11:20, H\"orsaal 47

Endpunktdetektion mittels Quadrupolmassenspektrometern — •Günter Peter — Balzers Instrument, P.O. Box 1000, FL-9496 Liechtenstein

Immer dünnere Schichten gelangen in der Elektronikindustrie zum Einsatz, so dass für die meisten Prozesse eine Endpunkts-Detektion zwingend ist. Einer der Prozesschritte ist Ion Milling: Durch Beschuss mit Ionen oder Neutral-Teilchen in der Gasphase wird ein Schichtsystem selektiv zurückgeätzt. Die geätzten Spezies treten hier und bei verwandten Prozessen unter anderem als Sekundär- Ionen auf. Der Nachweis dieser Sekundär- Ionen mittels Massenspektrometer bietet sich geradezu an.

Als Detektor wurde ein differentiell gepumptes Massenspektrometer zusammen mit einer Ionen-Transfer-Optik verwendet. Applikationen an einem Ion Milling Prozess zeigen die deutliche Überlegenheit dieser Geräte gegenüber den bisher verwendeten optischen Endpunkt-Detektoren: Um mehr als zwei Grössenordnungen höhere Signallevel und ein deutlich reduziertes Rauschen im Vergleich zur optischen Detektion wurden erzielt. Zusätzliche Ionen-Umlenk-Einheiten ermöglichen Detektionswinkel bis hin zu 90 Grad. Die notwendige Druckreduktion lässt sich durch die Größe der Eintrittsblende dem Prozess anpassen.