Regensburg 2000 – scientific programme
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 4: Beschichtungstechnik
Tuesday, March 28, 2000, 10:00–11:20, H\"orsaal 47
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10:00 | VA 4.1 | Invited Talk: Vakuumgestützte Zukunftstechnologien in der Optik — •Norbert Kaiser |
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10:40 | VA 4.2 | Quadrupol- Massenspektrometer in der Beschichtungstechnologie — •Günter Peter und Norbert Müller |
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11:00 | VA 4.3 | Endpunktdetektion mittels Quadrupolmassenspektrometern — •Günter Peter |