Regensburg 2000 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 5: Vakuummesstechnik II: Partialdruckmessung

VA 5.1: Talk

Tuesday, March 28, 2000, 11:20–11:40, H\"orsaal 47

Wie genau ist die massenspektrometrische Gasanalyse? — •Günter Tirler¹, Rudolf Dobrozemsky¹, Ulrich Langer² und Langer Schwarzinger¹ — ¹Institut für Allgemeine Physik, Technische Universität, Wien — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik (Garching, D)

Ein Teilproblem bei der massenspektrometrischen Gasanalyse Partialdruckanalyse ist die genaue Zerlegung der Massenspektren in die einzelnen Gasanteile. Voraussetzung ist, dass die charakteristischen Massenspektren Bruchstück-Häufigkeiten der im System vorkommenden Gase bekannt sind und dass ein geeigneter Algorithmus zur Auswertung des zugrundeliegenden linearen Gleichungssystems zur Verfügung steht. In der Praxis hat sich gezeigt, dass die Beurteilung der Genauigkeit der erhaltenen Resultate und der Sinnhaftigkeit der berechneten Fehler ohne weitere Informationen nicht möglich ist. Methoden zur Analyse der systematischen und statistischen Fehler bei der Spektrenzerlegung kommt daher besondere Bedeutung zu. In diesem Beitrag wird eine kritische Analyse der Fehlerquellen bei der Gasanalyse präsentiert und an Hand von Messungen und Modellrechnungen diskutiert.