Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 5: Vakuummesstechnik II: Partialdruckmessung
VA 5.2: Vortrag
Dienstag, 28. März 2000, 11:40–12:00, H\"orsaal 47
Das neue Quadrupolmassenspektrometersystem zur Restgasanalyse des HASYLAB Strahlrohrvakuums — •Ulrich Hahn1 und Ulrich Miße2 — 1HASYLAB am DESY, Notkestr. 85, D-22603 Hamburg — 2Gasanalyse-Systeme, Deichselbach 62, D-58285 Gevelsberg
Am Hamburger Synchrotronstrahlungslabor HASYLAB werden ca. 50 Meßplätze über ein mit dem Speicherring DORIS verbundenes Strahl-rohrsystem mit Synchrotronstrahlung versorgt. Das Strahlrohr- system wird bei Totaldrücken von 1· 10−9 mbar betrieben. Zur automatischen Überwachung der Partialdrücke wurde ein Quadrupolmassenspektrometersystem mit folgenden Aufgaben installiert:
1. Kontrolle der Röntgenfenster aus 0,4 mm dickem Beryllium. Risse im Fenster sind durch eine He Partialdrucküberwachung frühzeitig nachweisbar.
2. Allgemeine Partialdruckkontrolle und He Lecksuche des Strahlrohrvakuums.
Es wurde eine flexible Steuerung zur Partialdruckkontrolle entwickelt, die neben dem vollautomatischen Betrieb die Nutzung des Massenspektrometers im normalen Modus ermöglicht. Die Ansteuerung und Datenabfrage kann über Ethernet erfolgen.