Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 6: Ausgasung und Oberfl
ächen

VA 6.1: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 15:00–15:20, H\"orsaal 47

Oberflächenmodifikation von Edelstahl mittels ECR-Plasmaanlage zur Reduktion dere Gasabgabe — •Bernd Garke, Oliver Kieler, Michaela Schulz und Norbert Schindler — O.-v.-Guericke-Universität Magdeburg, FNW/IEP/AVP, PF 4120, 39016 Magdeburg

Zur Beeinflussung der Gasabgabe von Edelstahlproben sollte die Wirkung einer Oxidschicht in deren innerer Oberfläche getestet werden. Zur Modifikation der natürlichen Oxidschicht wurde eine Mikrowellenbehandlung eingesetzt, die auch in der Praxis zur Kon- ditionierung von Vakuumbauteilen Anwendung findet. Zunächst wurden bei Voruntersuchungen Proben einem Mikrowellenplasma aus- gesetzt, welches nicht magnetfeldgestützt war. Es erfolgten erste Oberflächencharakterisierungen mittels Elektronenspektro- skopie sowie Gasabgabemessungen. Darauf aufbauend wurden mit ei- ner kommerziellen ECR-Mikrowellen-Plasmaanlage (SLAN I) Edel- stahlproben in einem Sauerstoff/Argon-Plasma intensiv oxidiert. Die auf diese Weise erzeugten Oxidschichten wurden mittels XPS und AES analysiert. Zwischen den Parametern der Plasmabehandlung und den daraus resultierenden Tiefenprofilen konnten einige Kor- relationen gefunden werden. Es erfolgte auch eine Analyse der Art der chemischen Bindung des Sauerstoffs mit den Edelstahlkom- ponenten. Es konnte bei Gasabgabemessungen ausgewählter, modi- fizierter Proben festgestellt werden, dass die Gasabgabe von Was- serstoff zum Teil geringfügig kleiner wurde. Ein deutlicher Rückgang im Vergleich zum unbehandelten Edelstahl trat bei der Gasabgabe von Wasser auf.