Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 6: Ausgasung und Oberfl
ächen

VA 6.5: Vortrag

Dienstag, 28. März 2000, 16:20–16:40, H\"orsaal 47

Raumtemperaturnahe Bestimmung von Diffusionskoeffizienten mittels Gasabgabemessung — •Norbert Schindler — Otto-von-Guericke Universität Magdeburg, Inst. für experimentelle Physik, Abt. Vakuumphysik

In nicht speziell-vakuumtechnischen Prozessen kann die Gasabgabe von Resten der Reinigungsmittel zu störenden Effekten bei der Anwendung führen. Besondere Bedeutung erlangt die Gasabgabe im Falle jener Oberflächen, die speziell in der Vakuumtechnik eingesetzt werden. Die Gasabgabe dieser Oberflächen wird zumeist durch gezielte Vorbehandlungen beeinflusst. Die Unterscheidung, ob die Vorbehandlung die Größe der im Material enthaltenen Gasmenge reduziert hat, die Desorptionseigenschaften des Materials veränderte oder ob eine Änderung in den Diffusionseigenschaften erreicht worden ist, kann zuweilen schwierig sein. Anhand von Beispielen soll gezeigt werden, wie mit Gasabgabemessungen bei verschiedenen Temperaturen diese Entscheidungsfindung unterstützt werden kann. Zugleich kann man aus den Messergebnissen die mittlere Aktivierungsenergie der Diffusion in polykristallinen Materialien im Temperaturbereich nahe der Raumtemperatur bestimmen, in dem diese Werkstoffe im allgemeinen hauptsächlich eingesetzt werden.