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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mo, 10:00–12:40	H\"orsaal 47	VA 1: Vakuumverfahrenstechnik: Flachbildschirme
	Mo, 15:00–17:20	H\"orsaal 47	VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung
	Mo, 17:20–18:00	H\"orsaal 47	VA 3: Vakuumtechnik
	Di, 10:00–11:20	H\"orsaal 47	VA 4: Beschichtungstechnik
	Di, 11:20–12:20	H\"orsaal 47	VA 5: Vakuummesstechnik II: Partialdruckmessung
	Di, 15:00–16:40	H\"orsaal 47	VA 6: Ausgasung und Oberfl ächen