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P: Plasmaphysik

P 6: Discharges

P 6.2: Vortrag

Donnerstag, 5. April 2001, 16:45–17:00, 2053

Erzeugung von Excimerstrahlung mit gepulsten Mikrohohlkathodenentladungen — •Isfried Petzenhauser, Uwe Ernst und Klaus Frank — Physikalisches Institut 1, Erwin-Rommel-Str.1, 91058 Erlangen

Mikrohohlkathodenentladungen eignen sich als effiziente Quelle kurzwelliger VUV-Excimerstrahlung [1]. Die bisher erreichten Wirkungsgrade von 6-9 sind im Vergleich zu kommerziell erhaeltlichen Strahlungsquellen, sog. Barriereentladungen noch zu niedrig. Bei Spannungen im Bereich von 200V begrenzen thermische Belastungen den moeglichen Strom auf wenige mA. Liessen sich die Effizienz und die Strahlungsleistungsdichte weiter steigern koennte die Mikrohohlkathodengeometrie durch ihren einfachen und preiswerten Aufbau fuer viele Anwendungen interessant werden. Ein Weg um den Strombereich und damit dieLeistungsdichte der Strahlung weiter zu erhoehen ist der gepulste Betrieb. Erste Messungen in Stickstoff [2] zeigen, dass durch die Verwendung kurzer Pulse hoher Wiederholrate die Gastemperatur erniedrigt und die Verluste minimiert werden koennen. Die ersten Ergebnisse eines Vergleichs der Strahlungsemission bei verschiedenen Pulsdauern und Wiederholraten werden praesentiert.

[1] A. El-Habachi, K.H. Schoenbach, Appl.Phys.Lett. 73(7), pp.885-887 (1998) [2] U. Ernst, K. Frank, W. Hartmann, I. Petzenhauser SSpectroscopic Investigations of High Pressure Microhollow Cathode Discharges", diese Tagung This work was supported by DFG FR 1273 and Siemens AG ZTEN3, Erlangen, Germany