Hamburg 2001 – scientific programme

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AM: Magnetismus

AM 15: Mikromagnetismus I (Magnetisierungsprozesse und Dom
änenstrukturen)

AM 15.15: Talk

Thursday, March 29, 2001, 18:30–18:45, S 5.4

Charakterisierung von dünnen HTSL-Schichten und GMR-Schichtsystemen — •K. Wegendt und K. Kaltenmark — SupraTest GmbH, Wilhelmstr. 88, 72074 Tübingen

Mit dem Wirbelstromverfahren werden dünne HTSL-Schichten auf Defekte und Filminhomogenitäten untersucht. Dies ist eine schnelle Messmethode, die eine Ortsauflösung von 50 µm ermöglicht. Beispielmessungen von SL-Schichten auf 3“- und 4“-Wafern und die Qualifizierung von Defekten werden vorgestellt. Ein Vergleich des Wirbelstromverfahrens mit Jc-Messungen und Magneto-Optik-Messungen wird anhand von Messprotokollen vorgenommen. Das Wirbelstromverfahren wurde für die Messung des GMR-Effekts an magnetischen Schichtsystemen auf Messung der Frequenz an Schwingkreisen erweitert. Ein neuer Messaufbau beinhaltet ein durchfahrbares Magnetfeld in Schichtebene zwischen -50 mT und 50 mT. Erste Ergebnisse zeigen eine Übereinstimmung der Wirbelstrommessung mit Messungen des prozentualen GMR-Effekts mittels Vierpunktmessungen des Oberflächenwiderstands. Damit kann der GMR-Effekt eines 4“-Wafers ortsaufgelöst untersucht werden.