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DF: Dielektrische Festkörper

DF 6: Poster

DF 6.12: Poster

Mittwoch, 28. März 2001, 14:30–18:00, Foyer S3

Elektrische und strukturelle Untersuchung an Ba_0.7Sr_0.3TiO₃ -Dünnschichten hergestellt durch PLD — •O. Trithaveesak, Martin Schmid, W. Zander, M. Siegert, J. Schubert und Ch. Buchal — ISG-IT, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich

(Ba,Sr)TiO₃-Dünnschichten werden aufgrund ihrer hohen Dielektrizitätskonstante in vielen Bauelementen z. B. in Halbleiterspeichern oder für Hochfrequenz-Anwendungen eingesetzt. Epitaktische Ba_0.7Sr_0.3TiO₃ Dünnschichten wurden auf LaAlO₃(100)-Substraten mittels PLD in verschiedenen Dicken hergestellt. Die Schichtqualität und die Stöchiometrie der Filme wurde mit RBS analysiert und die Gitterparameter durch eine Röntgen-Analyse (XRD) bestimmt. Für die elektrischen Messungen wurden interdigitale Elektroden aus Pt verwendet. Die C-V-Messung zeigt eine Schmetterlings-Kurve. Die Hysterese-Kurven dieser ferroelektrischen Schichten wurden mit einem AIXACCT 2000 Thin-Film-Analyser aufgenommen und die remanente Polarisation ermittelt. Für die Bestimmung der Curie-Temperatur wurden die Hysterese- und die Kapazitäts-Messungen bei erhöhter Temperatur durchgeführt. Bei der Kapazitätsmessung zeigte sich ein starker Anstieg der Kapazität und des Verlustwinkels im Temperaturbereich T>100 ^∘C. Der starke Anstieg des Verlustwinkel weist auf eine Erhöhung der Leitfähigkeit hin und könnte mit Sauerstoff-Leerstellen in der Schicht zusammenhängen.