Hamburg 2001 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
DF: Dielektrische Festkörper
DF 7: Ferroelektrische Schichten, Nanostrukturen und Keramiken
DF 7.3: Fachvortrag
Thursday, March 29, 2001, 10:30–10:50, S18/19
Gesputterte PbZrxTi1−xO3/SrRuO3-Filme auf SrTiO3-Substraten — •Julio Rodriguez1, Ulrich Poppe1, Jürgen Schubert2, Hermann Kohlstedt1 und Rainer Waser1 — 1Forschungszentrum Jülich, Institut für Festkörperforschung — 2Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik
Ferroelektrische PZT-Filme sind von großem Interesse für optische und elektronische Anwendungen, wie z.B. nichtflüchtige Speicher oder Pyrodetektoren. Die meisten PZT-Dünnschichtfilme werden polykristallin auf Pt-Elektroden aufgewachsen. Ein Vorteil von epitaktischen, einkristallinen PZT-Filmen ist die höhere Polarisierbarkeit. Die hier untersuchten PZT/SRO-Filme sind auf STO-Substraten mittels Hochdrucksputterns deponiert worden. Unter optimierten Sputterbedingungen zeigen Rutherford Backscattering-Untersuchungen eine stöchiometrisch richtige Zusammensetzung. PZT-Filme besitzen Channelingraten von 11% , während SRO-Filme 2% erreichen. Röntgenuntersuchungen zeigen ein c-achsenorientiertes Wachstum der PZT- und SRO-Filme. Die Mosaikbreiten beider Filme sind sehr gering. Die Halbwertsbreiten der Rocking-Kurven liegen in beiden Fällen unter 0,1o . Die Schichtenfolge PZT/SRO wächst exakt parallel zur Substratebene auf. PZT-Filme sind in der untersuchten Stöchiometrie tetragonal. Die Länge der c-Achse ist schichtdickenunabhängig; ihr Wert ist kleiner als der für Bulk-Material. AFM-Aufnahmen zeigen eine nur geringe Oberflächenrauhigkeit.