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DS: Dünne Schichten

DS 11: Schichtherstellung I

Dienstag, 27. März 2001, 09:30–10:15, S 13/14

	09:30	DS 11.1	Hauptvortrag: Von einem Patentstreit 1884-94 zu ultradünnen Schichten ausgezeichneter Qualität - eine kurze Geschichte der Schichtherstellung mit gefilterten Bogenplasmen — •Andre Anders