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DS: Dünne Schichten

DS 13: Schichtherstellung III

Dienstag, 27. März 2001, 11:00–12:00, S 13/14

	11:00	DS 13.1	Diffusional transport and nitride growth kinetics during ion nitriding of Al — •Temenoujka Telbizova, S. Parascandola, R. Gunzel, E. Richter, and W. Moeller
	11:15	DS 13.2	TEMPERATURABHÄNGIGKEIT DER BILDUNG VON ALUMINIUM-AUSSCHEIDUNGEN IN UND AUF SAPHIR NACH AL-HOCHDOSIS-IONENIMPLANTATION — •M. Bronner, J.K.N. Lindner und B. Stritzker
	11:30	DS 13.3	KONTAKTIERUNG VERGRABENER SIC-SCHICHTEN MITTELS IMPLANTATION VON ÜBERGANGSMETALLEN — •J.K.N. Lindner, S. Wenzel und B. Stritzker
	11:45	DS 13.4	Phasenbildung am System Cu-In-S; Optische und elektrische In-situ Untersuchungen — •Christian Pietzker, Dieter Bräunig und Roland Scheer