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DS: Dünne Schichten

DS 18: Ionenimplantation IV

DS 18.1: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 14:00–14:15, S 5.1

Wasserstoff-Tiefenprofilierung mit Miss MaRPel — •Marcus Schwickert, Felix Harbsmeier, Holger Schebela, Michael Uhrmacher und Klaus Peter Lieb — Universität Göttingen, II. Physikalisches Institut, Bunsenstrasse 7/9, D-37073 Göttingen

Der 3 MV NEC-Pelletron Beschleuniger des MPI-Kernphysik in Heidelberg wurde abgebaut und in Göttingen erfolgreich neu installiert. Zur Materialanalyse stehen ein Multidetektor RBS-Messplatz und ein Low Level Messplatz für resonante Kernreaktions Analyse (RNRA) zur Verfügung. Der Aufbau wird vorgestellt. Nach erfolgreicher Energie Eichung mit bekannten Kernreaktionen von geringer Breite wurden mit einem ¹⁵N Strahl der Energie E ≥ 6.38 MeV Tiefenprofile von implantiertem Wasserstoff mit Hilfe der Kernreaktion ¹H(¹⁵N,αγ)¹²C gemessen.