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DS: Dünne Schichten

DS 19: Schichteigenschaften II

DS 19.1: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 15:00–15:15, S 5.1

Dielektrische Modellierung optischer Spektren von ITO-Schichten — •Dieter Mergel und Zhaohui Qiao — Fb Physik, AG Dünnschicht-Techn., Universität, 45117 Essen

Transmissions- und Reflexionsspektren von In(2)O(3):Sn (ITO)-Schichten wurden mit einem Computer-Programm (SCOUT 98) simuliert. Die Schichten wurden mit HF-Diodensputtern unter verschiedenen Sauerstoff-Partialdrücken hergestellt, so dass die Ladungsträgerdichte von 3x10E19 bis 1.5x10E21 cm(-3) variiert. Die dielektrische Funktion wird aus drei elektronischen Übergängen abgeleitet: Intraband-Übergänge der freien Elektronen (modifiziertes Drude-Modell), direkte und indirekte Bandkanten-Übergänge und Interband-Übergänge (harmonischer Oszillator).

Die Parameter des Drude-Modells sind Dichte N(Dr) und Beweglichkeit M(Dr) der freien Elektronen. Sie wurden mit den entsprechenden elektrisch bestimmten Größen n(Hall) und m(Hall) verglichen. Ergebnisse: - M(Dr) ist frequenzabhängig, - M(Dr) ist unabhängig von m(Hall), - N(Dr) ist größer als n(Hall). Als Ursache der Diskrepanzen wird eine Mikrostruktur mit teilweise isolierenden Korngrenzen diskutiert. Der Brechungsindex bei 550 nm ist abhängig von N(Dr).