Hamburg 2001 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 19: Schichteigenschaften II

DS 19.4: Talk

Thursday, March 29, 2001, 15:45–16:00, S 5.1

Strukturierung und Metallisierung ultradünner Polymerschichten — •Sven Trogisch¹, Ch. Loppacher¹, St. Grafström¹, L.M. Eng¹, F. Braun² und B. Voit² — ¹Institut für Angewandte Photophysik, Technische Universität Dresden — ²Institut für Polymerfoschung Dresden e.V.

Wir zeigen Untersuchungen der Materialeigenschaften von Diazosulfonatcopolymer-Schichten. Das besondere Augenmerk iegt dabei auf den Möglichkeiten der stukturierten Metallisierung und der Anwendung als optische Oberflächenschicht speziell für die Nanotechnologie. Eigens zur Analyse der Strukturierung der ultradünnen Polymerschichten wurde ein besonderer Aufbau eines konfokal optischen Rastersondenmikroskops verwendet. Wir zeigen Messung mit konfokaler Lasermikroskopie, AFM sowie XPS. Damit können Aussagen zur Morphologie, der chemischen Zusammensetzung der Oberfläche sowie zu optischen und strukturellen Phasenübergängen gemacht werden. Durch den Aufbau der Meßapparatur konnten die Eigenschaften der Schichten vor, während und nach der Belichtung mit Laser-Pulsen unterschiedlicher Dauer, Repitition und Wellenlänge untersucht werden. Es ist eine deutliche Veränderung des Absoptionsspektrums als Funktion der Belichtungszeit auf einer Längenskala von Nanometer bis Millimeter nachzuweisen. Die erfolgreiche Metallisierung zeigen Messungen im AFM. Zur Untermauerung der Ergebnisse dienen XPS-Messungen.