Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 19: Schichteigenschaften II

DS 19.7: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 16:30–16:45, S 5.1

Untersuchungen zur Wechselwirkung von dünnen Metallfilmen mit hochangeregten kalten Neutralteilchen im Afterglow eines Oberflächenwellenplasmas — •Detlef Diesing¹, Johannes Berndt², and Jörg Winter² — ¹Lehrstuhl für Oberflächenwissenschaft, Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf, — ²Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum,D-44780 Bochum

Mit dem Afterglow eines Oberflächenwellenplasmas steht eine hocheffektive Quelle von reaktiven Neutralteilchen (N,Ar) zur Verfügung. Die Widerstandsänderung von dünnen Metallschichten (Ag, Cu, Al) ( d < 20 nm ) durch Belegung mit verschiedenen Konzentrationen von N und Ar wurde untersucht. Es konnte festgestellt werden, daß sich Al und Cu Filme im Teilchenstrahl nicht verändern. Ag-Filme sind im Argon Plasma ebenfalls resistent. Im Afterglow eines Stickstoff Plasmas hingegen zeigen die Ag-Filme einen großen Widerstandsanstieg von 10   Ω auf 80   k Ω . Diese Widerstandsänderung über vier Größenordnungen kann durch Heizen der Probe von Raumtemperatur auf 400 K zurückgeführt werden. Wir ordnen dieses Verhalten einem Lösungsvorgang von N-Atomen im Ag-Film zu.