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DS: Dünne Schichten

DS 21: Schichteigenschaften IV

DS 21.4: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 10:15–10:30, S 13/14

Mechanische Spannungen in laserdeponierten Metallfilmen — •Thorsten Scharf und Hans-Ulrich Krebs — Institut für Materialphysik, Windausweg 2, 37073 Göttingen/SFB 345

Die mechanischen Spannungen und die Struktur laserdeponierter dünner Metallschichten wurden mit einer in-situ Biegebalkenmethode und ex-situ Röntgenbeugung untersucht. Während im UHV stets Druckspannungen auftreten, wird bei einem kritischen Inertgasdruck ein Übergang zu Zugspannungen beobachtet. Gleichzeitig verändert sich die Struktur und Mikrostruktur der Filme. Die Druckabhängigkeit wurde für verschiedene Edelgase untersucht. Neben reinen Metallen und Legierungen wurden auch Grenzflächen von Schichtpaketen untersucht. Die Ergebnisse werden bezüglich der kinetischen Energie der deponierten Teilchen diskutiert und mit denen gesputterter Filme verglichen.