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DS: Dünne Schichten

DS 27: c-BN:X

DS 27.2: Vortrag

Freitag, 30. März 2001, 11:45–12:00, S 5.1

Ermittlung der unverspannten Gitterkonstanten von c-BN:Al-Schichten — •Volker Linss, Thorsten Halm, Walter Hoyer und Frank Richter — Institut für Physik, TU Chemnitz, 09107 Chemnitz

Beim Sputtern von c-BN-Schichten wurde über eine zusätzliche Al-Kathode ein Aluminiumeinbau in der Schicht bis zu 1.3 at.% herbeigeführt. Die Schichten wurden an der ESRF in Grenoble mittels Beugung von Synchrotronstrahlung (λ = 1.1 Å) untersucht und die Spannung sowie die unverspannte Gitterkonstante ermittelt. Mit Einbau des homologen Elementes Al nimmt die unverspannte Gitterkonstante um ca. 0.7% je at.% eingebautes Aluminium zu, wenn man alle anderen Beschichtungsparameter konstant läßt. Durch die Variation des Aluminiumeinbaus kann in nur gewissen Grenzen die unverspannte Gitterkonstante variiert werden, da ab Konzentrationen über 1.3 at.% Al keine c-BN-Nukleation mehr beobachtet wird.