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DS: Dünne Schichten

DS 29: Schichteigenschaften VI

DS 29.1: Hauptvortrag

Freitag, 30. März 2001, 10:15–11:00, S 13/14

Strukturdesign bei dünnen Schichten - Wann sind Hartstoffschichten hart und thermisch stabil? — •Christian Mitterer und Paul Mayrhofer — Institut für Metallkunde und Werkstoffprüfung, Montanuniversität, Franz-Josef-Straße 18, A-8700 Leoben, Austria

Dünne Hartstoffschichten basierend auf den Nitriden der Übergangsmetalle werden heute weitverbreitet zum Zwecke des Verschleiß- und Korrosionsschutzes auf Werkzeugen mit Hilfe von plasmaunterstützten Beschichtungsverfahren abgeschieden. Während in den letzten beiden Jahrzehnten wesentliche Fortschritte in der Prozeß- und Anwendungstechnik derartiger Schichten erzielt wurden, werden die Methoden zur Festigkeitssteigerung, die von massiven Materialien her bekannt sind, erst seit wenigen Jahren gezielt zur Optimierung dünner Hartstoffschichten angewendet. Die Aufgabe des vorliegenden Beitrages ist es, anhand einiger unterschiedlicher ein- und mehrphasiger Hartstoffschichten wie TiN, CrN und TiN-TiB2 bzw. TiC-TiB2 zu zeigen, wie Korngröße und Eigenspannungen die mechanischen Eigenschaften beeinflussen. Weiters wird die Wechselwirkung zwischen Schichtstruktur und Erholungs- und Rekristallisationsverhalten diskutiert werden.