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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.23: Poster

Dienstag, 27. März 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Periodische Ripple-Strukturen auf Fused Silica Oberflächen durch Ionenstrahlerosion: Ein Vergleich zwischen Theorie und Experiment — •Frank Frost, Dieter Flamm, Dietmar Hirsch und Bernd Rauschenbach — Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Permoserstraße 15, 04318 Leipzig

Die Entstehung von periodischen Ripple–Strukturen mit einer charakteristischen Wellenlänge von λ = 30 – 300 nm auf der Oberfläche von fused silica bei der Ionenstrahlerosion mit niederenergetischen Ar⁺ Ionen (Ionenenergie 500 – 2000 keV) wurde mittels Rasterkraftmikroskopie untersucht [1]. Konsistent mit der Bradley–Harper–Theorie [2] wird die Orientierung der Ripples (senkrecht bzw. parallel zur Projektion des Ionentrahles auf die Oberfläche) durch den Einfallswinkel der Ionen bestimmt. Im Gegensatz dazu können andere experimentelle Befunde unter Verwendung dieses einfachen Modelles nicht erklärt werden. Als Beispiele seien hier genannt die Vergrößerung der Ripple–Wellenlänge mit fortschreitender Sputterzeit, die Zunahme der Ripple–Wellenlänge mit der Ionenenergie oder auch die Konstanz der Wellenlänge bei Variation der Ionenstromdichte. Diese Beobachtungen werden auf der Basis von kürzlich entwickelten nichtlinearen Kontinuumstheorien diskutiert [3].
D. Flamm, F. Frost, D. Hirsch, Appl. Surf. Sci. (eingereicht).
R. M. Bradley, J. M. E. Harper, JVST A 6, 2390 (1988).
M. Makeev, R. Cuerno, A. L. Barabási, e–print cond–mat/0007354.