Hamburg 2001 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.24: Poster

Tuesday, March 27, 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Zum Einsatz von Thermosonden zur Charakterisierung von Plasma-Wand-Wechselwirkungsprozessen — •Holger Kersten, Ruben Wiese und Rainer Hippler — E.-M.-Arndt-Universität Greifswald, Institut für Physik, Domstr.10a, 17487 Greifswald

Da die thermischen Bedingungen an der Substratoberfläche wesentlich das Zusammenwirken der Elementarprozesse bei der Plasmabehandlung von Festkörperoberflächen beeinflussen, kommt der experimentellen Bestimmung des Energieeinstroms auf das Substrat grosse Bedeutung zu. Der integrale Energieeinstrom wurde mit speziellen Thermosonden gemessen. Das Messverfahren basiert auf der Bestimmung des zeitlichen Verlaufs der Substrattemperatur während des Plasmaprozesses. Die Aufheizkurve und (nach dem Ausschalten des Plasmas) die Abkühlkurve werden mit entsprechenden Funktionen geglättet und die Ableitungen nach der Zeit bei der jeweils gleichen Temperatur gebildet. Aus der Differenz der Ableitungen erhält man mit Kenntnis der Wärmekapaziät des Sensors den Energieeintrag auf die Oberfläche. Mit dem Sensor konnte auch der Strom auf das Substrat gemessen und die Substratvorspannung variiert werden, um den Anteil der Ladungsträger zum Energieeinstrom zu bestimmen. Durch Verwendung von Thermosonden aus unterschiedlichen Materialien konnte der Einfluss von Oberflächenrekombination, Sekundärelektronenemission und Zerstäubung zur Energiebilanz der Substrate bei der Plasmabehandlung verifiziert werden.